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【中玻網(wǎng)】石英玻璃在半導(dǎo)體中的應(yīng)用
石英玻璃憑借其高純度、耐高溫、低熱膨脹性、化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)等優(yōu)良性能,在半導(dǎo)體芯片制造加工中被廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體石英產(chǎn)品種類繁多,主要用于硅片制造環(huán)節(jié)的拉制單晶的石英坩堝、多個晶圓制造的核心環(huán)節(jié)的硅片承載器具(擴(kuò)散、氧化環(huán)節(jié)的擴(kuò)散管、舟、支架等;刻蝕環(huán)節(jié)的石英環(huán)等;清洗環(huán)節(jié)的石英玻璃花籃、清洗槽等)以及光刻環(huán)節(jié)使用的光掩膜版的基板材料。
半導(dǎo)體用石英玻璃的市場規(guī)模
半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域之一,需求空間百億量級:
半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域,需求空間百億量級。根據(jù)石英玻璃協(xié)會報告,2014年大部分國家石英玻璃市場規(guī)模超過200億元金額,其中半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用,市場占比超過60%,其中半導(dǎo)體石英坩堝、前端工序石英器件、光掩膜基板市場空間分別約40億、60億、45億元金額。根據(jù)其他口徑測算,2017年大部分國家半導(dǎo)體級石英材料市場規(guī)模在20億美元以上,半導(dǎo)體石英器件規(guī)模約13億美元(分為高溫區(qū)器件、低溫區(qū)器件,規(guī)模大致相當(dāng)),光掩膜版基板材料市場規(guī)模約10億美元(包含部分蘇打玻璃,石英玻璃占比處于提升趨勢)。

半導(dǎo)體是石英玻璃主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域之一,需求空間接近100億量級。

根據(jù)石英行業(yè)協(xié)會報告,2013年整個半導(dǎo)體石英器件規(guī)模約10億美元,而根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),2017年半導(dǎo)體晶圓設(shè)備銷售額、硅片出貨量均相比2013年增長了30%,簡單按同比例測算,當(dāng)前半導(dǎo)體石英器件的市場規(guī)模約為13億美元,已接近百億金額量級。

目前,大部分國家高等石英玻璃市場(尤其是以半導(dǎo)體、光通訊為主的電子級石英玻璃市場),主要還是由賀利氏、邁圖、東曹、昆希等海外龍頭企業(yè)掌握,石英材料的國產(chǎn)化比例較低。
關(guān)鍵點在于,半導(dǎo)體石英材料的認(rèn)證壁壘較高,具有資質(zhì)認(rèn)證優(yōu)勢的外資廠商往往占據(jù)著高等市場的絕大份額。

產(chǎn)業(yè)鏈的梳理
從材料到器件加工,客戶從半導(dǎo)體設(shè)備商到芯片制造商。半導(dǎo)體石英玻璃領(lǐng)域的企業(yè)主要分為上游的石英玻璃材料廠商(菲利華、石英股份等)和下游的石英器件加工商(杭州大和、凱德石英等);石英器件加工廠商將采購的石英玻璃材料通過機(jī)加工或者熱加工制成各類半導(dǎo)體石英器件銷售給半導(dǎo)體設(shè)備廠商,再由設(shè)備廠商將包含石英器件的整套設(shè)備銷售給芯片制造商;器件加工商也會將產(chǎn)品直接銷售給芯片制造商(器件損耗需要在一定周期內(nèi)更換)。
①菲利華,2011年上半年通過東京電子的材料認(rèn)證,成為國內(nèi)一家通過原廠設(shè)備認(rèn)證的石英玻璃材料企業(yè),大部分國家目前共有5家企業(yè)通過該認(rèn)證;公司是國內(nèi)石英玻璃行業(yè)龍頭,在半導(dǎo)體、光通信、航天航空等領(lǐng)域技術(shù)優(yōu)勢明顯:1)在半導(dǎo)體領(lǐng)域,公司是國內(nèi)獲得主要半導(dǎo)體設(shè)備商(東京電子、應(yīng)材、Lam)認(rèn)證的石英材料供應(yīng)商;2)在航天航空領(lǐng)域,公司是大部分國家少數(shù)具有石英纖維量產(chǎn)能力的制造商之一,具有軍方供貨資質(zhì);3)在光通信領(lǐng)域,公司可提供絕大部分石英玻璃輔材器件。
②石英股份,多個半導(dǎo)體級產(chǎn)品正在進(jìn)行東京電子認(rèn)證,國內(nèi)優(yōu)異的半導(dǎo)體器件加工商凱德石英目前也正在推進(jìn)東電認(rèn)證,目前進(jìn)展順利。

半導(dǎo)體設(shè)備、芯片環(huán)節(jié)均增長明顯,拉動半導(dǎo)體石英需求高景氣:隨著大部分國家半導(dǎo)體市場進(jìn)入增長周期,并迎來新一輪投入資金高峰,設(shè)備、芯片環(huán)節(jié)的高增長拉動半導(dǎo)體石英需求迎來高景氣。預(yù)計到2020年,半導(dǎo)體石英材料仍有望維持20%以上的年復(fù)合增長率。
此外,國內(nèi)石英玻璃公司2017年的電子級產(chǎn)品的收入也確實迎來了高速增長,并在積較擴(kuò)產(chǎn),2018年銷售額仍將處于快速增長通道,這也為石英砂生產(chǎn)廠家?guī)泶髾C(jī)會。
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